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微納代工

微納代工

鍍膜

包括化學(xué)氣相沉積法,物理氣相沉積法及光學(xué)鍍膜多種鍍膜方式,多種金屬薄膜和介質(zhì)薄膜


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外延和摻雜

包括金屬有機物化學(xué)氣相沉積,離子注入,快速退火等



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電鍍和化學(xué)鍍

晶圓級電鍍,電鑄和化學(xué)鍍鎳鈀金等



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其它工藝

硅片清洗,噴膠,lift-off工藝等



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  光刻

包括接觸式光刻,步進(jìn)式光刻,電子束光刻和背面套刻



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刻蝕

包括濕法刻蝕,反應離子刻蝕,離子束刻蝕等



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切割和減薄

包括研磨,減薄,刀片切割和激光切割等



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封裝

各種封裝方式,陽(yáng)極鍵合、共晶鍵合,臨時(shí)鍵合,TSV和TGV等



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優(yōu)勢工藝

括深硅刻蝕、犧牲層工藝,微電鍍和壓電層薄膜工藝等



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